单晶硅传感器真空充油机 可定制

西安双塔真空设备有限公司为您提供单晶硅传感器真空充油机 可定制。

一、产品概述 

1、应用于单晶硅传感器及其它同类型产品的高真空注油工艺。

2、预处理油罐具备控温加热、搅拌、照明及补油功能。

3、高真空注油腔内部配置通用产品托盘，可选配控温加热功能。

4、三路复合真空计可实时监测各区域真空压力。

5、总排气口安装油雾过滤器，可有效降低设备运行噪音并净化油气。

6、操作点之间均有压力或互锁逻辑保护，有效避免人为误操作损坏设备。

7、油杯配置液位开关，避免过量补油及注油损坏设备。

 二、产品技术参数

1、注油腔压力：≤6.7×10e-4 pa--空载

2、油杯压力：≤2.0×10^-1pa--空载

3、真空泵配置：分子泵+旋片真空泵

4、单次产品数量：30~50件

5、单次运行时长：6~8小时

6、电压：220v或380v 可任意选择

7、总功率：3.5 kw

8、冷却方式：风冷

9、外形尺寸：宽1150*深650*高1770mm

10、总重量：约400 kg

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